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画像相関二次元エンコーダ

ミツトヨ
●スペックルパターンの画像相関を応用●面内二次元変位を同時に非接触測定●ナノ分解能で測定可能●ステージの位置の再現性評価を最適●平面上の微小ひずみやたわみ測定が可能
※最新の商品仕様については、メーカーカタログ等でご確認ください。
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