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※代表画像

画像相関二次元エンコーダミツトヨ

本製品は生産を終了しています。後継品をご確認ください。

廃番

MICSYS-SA1 (549-701)

カタログ

●スペックルパターンの画像相関を応用●面内二次元変位を同時に非接触測定●ナノ分解能で測定可能●ステージの位置の再現性評価を最適●平面上の微小ひずみやたわみ測定が可能

価格：都度見積もり品

データ更新レート

20Hz
分解能

1nm
平面精度(μm)

±100
指示精度(20℃)

±100nm
検出方式

レーザスペックル画像相関方式
標準付属品

測定用の標準ターゲット、データ収集用簡易ソフト(CD-ROM)

※最新の商品仕様については、メーカーカタログ等でご確認ください