516シリーズ 段差マスタ ミツトヨ ●段差は段階状で、ブロックNo.1から5にかけて低くなっています。●隣接段差を光波干渉計にて測定しています（検査成績書には0.01µm単位で記載）。また、隣接段差の許容値は±0.20µm以内です。●用途に応じて、鋼製とセラミックス製で各2種類を準備しています。●隣接段差とは、隣合う測定ブロックの中央寸法の差になります。